Yarımmikroanaliz — az miqdarda (10–50 mq) götürülən bərk maddənin (və ya 0.1–5 ml məhlulun) vəsfi və miqdari kimyəvi analiz əməliyyatları. Yarımmikroanalizdə maddə makroanaliz üçün tələb olunandan 20–25 dəfə az götürülür (onun minimal miqdarı 0.01 mq olmalıdır). Makroanalizin nəzəri əsası və bütün iş sistemi, eləcə də elementləri bir-birindən ayırma və təyinetmə ardıcıllığı yarımmikroanalizdə eyniylə saxlanılır. Yarımmikroanalizdə elementləri yarımmikroüsulla ayırdıqdan sonra onların mikrokristalloskopik və damcı üsulları ilə təyini daha yaxşı nəticə verir. Yarımmikroanalizdə analiz adətən çəki üsulu ilə deyil, hər hansı fiziki-kimyəvi üsulla başa çatdırılır.