Elektron mikroskopiya — Yüksək dərəcəli böyüdücü mikroskoplar nanotexnologiyada geniş istifadə olunurlar. Burada bir qayda olaraq elektron mikroskopiyasından istifadə olunur ki, bu da sürətləndirilmiş elektron dəstəsinin tətbiqinə əsaslanır. Bu məqsədlər üçün zond mikroskoplarının müxtəlif variantları yaradılmışdır. Öz növbəsində elektron mikroskopiyasında iki əsas istiqamət vardır:
- İşıqlandırıcı elektron mikroskopiyası (İEM). Burada yüksək ayırdetmə qabiliyyəti olan elektron mikroskopiyası ayrıca bölmə kimi götürülür;
- Skanirə edən elektron mikroskopiyası (SEM).
İşıqlandırıcı elektron mikroskopiyası
Nazik plyonkadan ibarət obyekt vakuumda (10−6 mm c.süt.) enerjisi 50–200 keV (kiloelektrovolt) olan sürətləndirilmiş elektron dəstəsilə işıqlandırılır. Plyonkadan (obyektdən) keçən və onun atomları tərəfindən müəyyən bucaq altında kənara çıxarılan elektron dəstəsi (elektron şüası) maqnit linzalarının üzərinə düşür və fotoplyonka üzərində daxili quruluşun tam işıqlı təsviri formalaşır. Bu da imkan verir ki, tədqiq olunan obyektin kristallik quruluşa malik olub olmaması haqqında dəqiq nəticə çıxardaq.
Skanirə edən elektron mikroskopiyası
Bu üsul əsasən səthdə yerləşmiş nanohissəcikləri tədqiq etmək üçündür. Burada elektron şüaları maqnit linzaları ilə ölçüsü 1–10 nm olan nazik zonda sıxılıb keçirilir ki, oda ardıcıl nöqtədən nöqtəyə obyekt üzrə yerini dəyişir, yəni onu skanirə edir. Elektronların obyektlə qarşılıqlı təsirindən bir neçə tip şüalanma baş verir:
- İkili və əks olunan elektronlar;
- Keçən elektronlar;
- Tormuzlanmış rentgen şüalanması;
- İşıq şüalanması.
Qeyd edilən şüalanma növlərinin hər biri elektrik siqnalı şəklində reqistrasiya oluna bilərlər.
Həmçinin bax
İstinadlar
- H. F. Mirələmov, Ç. İ. Məmmədov. Nanotexnologiya və nanokimyanın əsasları. Bakı 2008. səh. 293.
- . 2023-04-09 tarixində . İstifadə tarixi: 2023-04-07.