- Ölçü vasitələrinin dəqiqliyi — ölçü cihazının göstəricilərinin ölçülən vahidin ölçülərinə yaxınlığı. Fərqin azlığı ölçmənin dəqiqliyini göstərir.
- Ölçü nəticələrinin dəqiqliyi — ölçü nəticələrinin keyfiyyəti. Dəqiqlik fərqi bu zaman sıfıra maksimum yaxın olmalıdır.