Aixtron 1983-cü ildə RWTH Aaxen Universitetindən ayrılmış sənaye olaraq təsis edilmişdir. Şirkət 1997-ci ilin noyabr ayında Frankfurt Birjasının hazırda fəaliyyət göstərməyən Neuer Markt-da siyahıya alınıb. Şirkət ictimaiyyətə açıq olduğu dövrdən, İngilis şirkəti Thomas Swan & Co Elmi Təchizat şöbəsi və İsveç kimyəvi buxar emalı avadanlığı istehsalçısı Epigress ABʼni 1999-cu ildə satın almışdır. Aixtron, 2005-ci ilin mart ayında Amerikan rəqibi Genus, Inc ilə 118 milyon Avro birləşməsini tamamladı və 2007-ci ildə Kembric Universitetindən ayrılan İngilis nanomaterial inkişaf etdirici Nanoinstruments Ltd-ni satın aldı. 2010-cu ilin dekabr ayında şirkət Alman Aktiengesellschaft-dan , Avropa və beynəlxalq təbiətini əks etdirmək üçün Societas Europaea-a çevrildi. 2016-cı ilin oktyabr ayında Çinin Fujian Grand Chip İnvestisiya Fondu LP Aixtron almaq üçün bir təklif verdi. İddia edilən alınma, bir araya gəlmədən ləğv olundu; Fujian Grand Chip ictimai mülkiyyət təklifi etməzdən bir müddət əvvəl, San'an Optoelektronika Aixtron-dan kritik sifarişini şübhəli əsaslarla ləğv edərək, Fujian Grand Chips səhmlərinin qiymətini daha ucuz etmək üçün təklif göndərdi (həm San'an Optoelektronika, həm də Fujian Grand) Çiplər eyni dövlət yarımkeçirici fondu tərəfindən idarə olunur). Nəticədə, Almaniyanın İqtisadiyyat Nazirliyi mülkiyyətin təsdiqlənməsini ləğv etdi. 2016-cı ilin Noyabr ayında ABŞ-dakı Xarici İnvestisiya Komitəsi (CFIUS) hər iki tərəfə milli təhlükəsizlik baxımından narahat olduqları üçün planlarını tərk etmələrini tövsiyə etdi. 2017-ci ildə Aixtron, Sunnyvale'de (Kaliforniya, Amerika Birləşmiş Ştatları) istehsal olunan ALD / CVD Yaddaş Məhsulları xəttini Cənubi Koreyada Eugene Texnologiya a satdı. Aixtron, 2018-ci ildə mənfəətə qayıtmaq üçün yenidən qurulma tədbirlərini həyata keçirməklə yanaşı, OLED biznesi üçün ortaqlıq qurmağa çalışdığını və bu məqsədlə 2017-ci ilin oktyabr ayında OLED işinin ayrı bir şirkətə çevrildiyini – APEVA SE olduğunu söylədi.

24 oktyabr 2018-ci il tarixində Aixtron, Aixtron-un OLED çökmə texnologiyaları üzrə törəməsi olan APEVA-ya investisiya qoymaq üçün Koreyanın IRUJA Co. Ltd. şirkəti ilə ortaq bir müəssisə haqqında müqavilə imzaladığını elan etdi.

2018-ci ildə Aixtron gəlirlərinin 54% -i Asiyadakı müştərilərin, təqribən 26% -i Avropadan, qalan 20% -i ABŞ-dən gəlir. Şirkət mürəkkəb, üzvi, həmçinin nanotubes və nanofiberləri olan bir sıra elektron və opto-elektron məhsullar istehsalında istifadə olunan metal üzvi kimyəvi buxar çökmə avadanlığı istehsal edir. Bir çox Aixtron sistemində "planetar reaktor" prosesi istifadə olunur, bunun sayəsində qazlı yarımkeçirici maddələr fırlanan yarımkeçirici plastiklərdə toplanır, digərləri isə yaxın birləşmiş "duş başı" çökmə metodundan istifadə edirlər. İstehsalat yerləri Almaniyada Aaxen yaxınlığında Herzogenrath-da və Birləşmiş Krallıqda Kembricdə yerləşir.